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GB/T 21287-2007

GB/T 21287-2007
Gases for electronic industry.Nitrogen trifluoride
ICS ７１．１００．２０
G８６
中华人民共和国国家标准
GB/T ２１２８７-２００７
电子工业用气体　三氟化氮
２００７-１２-１４发布
２００８-０７-０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅲ
１　范围 １
２　规范性引用文件 １
３　要求 １
４　试验方法 ２
５　包装、标志、贮运及安全 ５
附录Ａ（资料性附录）　切割气路流程示意图 ７
附录Ｂ（资料性附录）　测定三氟化氮中一氧化碳的气路切换装置流程示意图 ８
附录Ｃ（规范性附录）　可水解氟化物和总酸度的测定 ９
附录Ｄ（资料性附录）　三氟化氮的化学性质和物理参数 １２
GB/T ２１２８７-２００７
前言
本标准根据ＳＥＭＩ（半导体材料和设备国际组织）的《三氟化氮》（ＳＥＭＩＣ３．３９-０３０４）２００４年版标准，并结合我国三氟化氮生产的实际情况制定。
本标准的附录Ｃ为规范性附录，附录Ａ、附录Ｂ、附录Ｄ为资料性附录。
本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会（ＳＡＣ/TＣ２０３／ＳＣ１）提出并归口。
本标准由湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所负责起草。
本标准参加起草单位有：核工业理化研究院特气中心、中核红华特种气体有限公司、黎明化工研究院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院等。
本标准主要起草人：余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠。
本标准为首次发布。
GB/T ２１２８７-２００７
电子工业用气体　三氟化氮
１　范围
本标准规定了瓶装电子工业用气体---三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。
分子式：ＮＦ３。
分子量：７１．００１９（按２００１年国际相对原子量）
２　规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB １９０　危险货物包装标志
GB/T ３７２３　工业用化学产品采样安全通则（GB/T ３７２３-１９９９，idt ISO ３１６５：１９７６）
GB ５０９９　钢质无缝气瓶（GB ５０９９-１９８５，neq ISO １４０５：１９８３）
GB/T ５８３２．１　气体湿度的测定　第１部分：电解法
GB/T ６６８１　气体化工产品采样通则
GB ７１４４　气瓶颜色标志
GB １４１９４　永久气体充瓶充装规定
气瓶安全监察规程
危险化学品安全管理条例
特种设备安全监察条例
３　要求
电子工业用气体三氟化氮应符合表１的要求。
表１　技术指标
项 　目 指 　标
三氟化氮（ＮＦ３），１０-２（体积分数） ≥ ９９．５ ９９．９ ９９．９８ ９９．９９ ９９．９９６
四氟化碳（ＣＦ４），１０-６（体积分数） ≤ １５００ ５００ １００ ５０ ２０
氮（Ｎ２），１０-６（体积分数） ≤ ７００ ５０ １０ １０ ５
氧加氩（Ｏ２＋Ａｒ），１０-６（体积分数） ≤ ７００ ５０ １０ ５ ３
一氧化碳（ＣＯ），１０-６（体积分数） ≤ ５０ １０ １０ ５ １
二氧化碳（ＣＯ２），１０-６（体积分数） ≤ ２５ １０ １０ ５ ０．５
氧化亚氮（Ｎ２Ｏ），１０-６（体积分数） ≤ ５０ １０ １０ ５ １
六氟化硫（ＳＦ６），１０-６（体积分数） ≤ ５０ ５０ １０ ５ ２
可水解氟化物（以 ＨＦ计）或总酸度 ，１０-６（体积分数） ≤ １ １ １ １ １
水（Ｈ２Ｏ），１０-６（体积分数） ≤ １ １ １ １ １
GB/T ２１２８７-２００７

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GB/T 30536-2014

GB/T 30536-2014 Document imaging applications.Recommendations for the creation of original documents ICS 37.080 A14 中华人民共和国国家标准 文献成像应用 对原始文件制作的建议 2014-05-06发布 2014-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 前言 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准修改采用ISO 10196:2003《文献成像应用 对原件制作的建议》(英文版)的技术内容。 本标准与ISO 10196:2003的技术差异如下: ---在第2章“规范性引用文件”中: ● 以修改采用国际标准的GB/T 6159.1-2003代替ISO 6196-1; ● 以修改采用国际标准的GB/T 6159.2-2011代替ISO 6196-2; ● 以修改采用国际标准的GB/T 6159.3-2003代替ISO 6196-3; ● 以修改采用国际标准的GB/T 6159.4-2003代替ISO 6196-4; ● 以修改采用国际标准的GB/T 6159.5-2011代替ISO 6196-5; ● 以修改采用国际标准的GB/T 6159.6-2003代替ISO 6196-6; ● 以修改采用国际标准的GB/T 20225-2006代替ISO 12651; ● 以非等效采用国际标准的GB/T 148-1997代替ISO 216; ● 以非等效采用国际标准的GB/T 7974-2002代替ISO 2470。 本标准与ISO 10196:2003相比,做了以下编辑性修改: ---用“本标准”代替了“本国际标准”; ---删除了国际标准的目次; ---删除了国际标准的引言; ---重新编写了本标准的前言; ---改正了国际标准中的两个编辑性错误[将表D.1中的“dp”改为“dpi”,将注(5)中的“dpi”改为 “100dpi”]; ---将规范性引用文件中的国际标准改为与之对应的国家标准或现行有效的国际标准; ---将适用于国际标准的表述改为适用于我国标准的表述。 本标准由全国文献影像技术标准化技术委员会(SAC/TC86)提...
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